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第120章:干法蚀刻

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    总算是给政府解释清楚了,不管他们到底相不相信,起码不会立马图穷匕现了,这是他最担心的。说实话在九几年的中国,最多的钱,也不能保证完全安全。政府还是专政机关,外资企业要好点,毕竟他们受自已国家的法律保护,一般的父母官不敢乱来。

    从市委朱书记那里告辞,回到公司后,沈丹青吓得出了一身冷汗,幸亏他说服了朱书记,否则长胜投资集团就有可能止戈成沙了,这可不是开玩笑。当然啦!也幸亏这件事上了中央新闻,有可能被高层领导关注了。政府可能也有这方面的顾虑,总之这件事情算是过去了。

    这件事情过后,长胜投资集团总算是过了一个坎。沈丹青也更加希望能快点将总公司搬去长沙,于是他更加频繁地向王全福了解长沙工业园的筹备情况。

    王全福真是哭笑不得,才刚开始派人去,能有多大的进展,他们第一期选址都还没开始呢?因此他只好亲自上来,耐心地跟老板解释:“老板,他们还在考察地形,,总得做一个全局的规划,否则以后会顾此失彼。”

    “好吧!是我心急了,你让他们仔细地规划吧!有了结果再告诉我。”沈丹青承认自己心急了,正所谓关心则乱,得好好冷静冷静了,他在心里对自已说。

    “好的,老板。我有消息会第一时间告诉你的。如果没什么事,我就告辞了,公司还有一大摊子事等我处理呢!”王全福不敢说老板是乱弹琴,只是说自已很忙,言下之意就是告诉老板,不要下乱命令,耽误别人的正事。

    “嗯!你回去吧!”沈丹青轻轻的挥了挥手,意兴珊阑的说道。

    时间是一记很好的抚慰剂,任何坏事在它的冲刷下都会慢慢的失去威力,直至被人民淡忘。不知不觉又过了一个多月。在这段时间里,长胜投资集团旗下各企业集团和单位却都发展顺利。

    首先是机械技术研究院和长胜精工,研制成功了芯片封装设备。这套设备与国外的同类设备有一点点不同,他不是采用什么传带式的流水线。而是釆用他们熟悉的轨道直线电机,上面安装自动机械臂的输送方式,等于是初级的智能机器人。自动机械臂上安装有真空吸盘,盛放硅晶圆的托盘就被牢固的吸附在吸盘上。整个输送过程,都不需要直接接触芯片,未封装的芯片是非常脆弱的,稍有不注意,就会造成机械损伤,甚至是报废。另外,他们这套设备效率非常高,是完全的自动化,不需要人工参与,因此能保证厂房里面的灰尘降到最低。整个厂房几乎是密封的,没有人员进入,灰尘当然就少了。

    物理研究所的胡所长领导的离子注入机事业部,也传来了喜讯。他们终于研制出了正式的离子注入机设备。能给沈丹青报来喜讯,当然已经是非常成熟的设备了。他们还算是运气好,幸好物理研究所有现成的质量分析器和离子加速器,这两样科研设备。否则如果让他们从新研究,就不知道要研究到什么时候了。他们也算是踩在巨人的臂膀上成功的。

    到了此时,就只剩自动检测程序没有完成了。沈丹青特意找卢汝成了解了一下,得知他们的任务非常困难,非短时间所能解决。于是他做出了一个决定,让这套芯片生产设备开始试制芯片,有什么问题尽量在生产中发现。用财力促进加速芯片技术的发展。前期的问题肯定很多,这些都是自动检测程序的宝贵的资料。

    没有自动检测程序,需要人工检测,芯片生产速度当然非常慢。就像木桶理论所说的一样,整个生产速度只能以人工检测的速度为基准了。不过沈丹青不会在意,对长胜投资集团来说,能用钱解决的问题都不是问题。

    用纳米级芯片制造设备来制造十六位元芯片,难度当然很低了,初次制造,合格率就非常高,达到了53%,不合格的芯片,不是工艺问题,而是化学蚀刻的原因。他们研究的这套化学蚀刻设备太过简单了,还缺少许多先进技术。他们釆用的是原始的自然蚀刻技术,因此造成的蚀边非常明显。化学蚀刻就是用化学药剂,溶解没有光刻胶保护的硅晶圆或铜互联层。如果任由它自然蚀刻,就会造成蚀边。也就是腐蚀了不需要蚀刻的晶体管和铜联接线的边。他们因为是第一次研制化学蚀刻设备,没有经验,以为只是一个纯粹的化学反应。造出来的蚀刻设备是最原始的设备,以前4位元芯片的时候,人们就是使用这种技术。到如今当然已经不适用了。

    得到了化学蚀刻出现问题之后,沈丹青非常重视,他立刻召集了相关科研单位商讨对策。

    说实话,他们是第一次见到这个问题。用化学方法蚀刻这么微小的图形,本来就很神奇。现在却说这种方法不行,要另想办法。这可真的难住他们了,他们一时也没有了好办法。最后还是沈丹青记起了前世的一些书上讲过,蚀刻分为湿法蚀刻和干法蚀刻。因此对他们说:“试试干法蚀刻,或许要好许多。”

    “老板,什么是干法蚀刻?你能祥细的告诉我们吗?”化学研究所的所长王波就站出来问他。没办法谁让化学蚀刻技术是化学研究所的主要责任呢?

    “先声明啊!我不懂具体原理。我只知道在一定的气压压力下,电浆离子与氧化硅或铜起反应或高速撞击,使之同样气态电离化,然后用抽气机抽走。又进行同样的步骤,直至蚀刻出我们需要的图形。这种方法能减少侵蚀,得到比较陡边的图形。应该来说会比湿法蚀刻好得多,也精密得多。不管怎么样!大家先试试看吧!”沈丹青将他所知道的只言片语讲了出来,具体的技术和方法就要他们去研究了。

    “老板,具体点,是哪几种电浆,你知道吗?”王波以希翼的语气问他。他自己也知道老板可能不知道,所以才用这样的语气请问他。

    “我怎么知道?我又不是科学家,我只不过是看到书上提到了几句,具体的原理和方法,还要你们自己去实验,我是帮不了的。”果然不出王波所料,老板不知道。而且他还讲的理直气壮,也不知道他是从哪本书上看到的。要知道他们这些专业的科学家都不知道,也真是怪了。老板经常神神秘秘的,好多的先进技术,都是从他的嘴里讲出来的,虽然只有皮毛,但是起码有了方向,不再是一无所知。

    “大家听我说,刚才老板己经为我们指明了方向,我们就以这个方向为突破口。我刚才大体考虑了一下,觉得非常可行。许多技术,我们在研制离子注入机的时候己经掌握了。这种新方法,无非是在离子注入机技术的基础上加上了化学反应。而未知的游离电浆,我也有了初步的预判。我们只研究与氧化硅和铜起反应的两种电浆。其它的蚀刻,还是釆用湿法蚀刻,不会影响成品率。那么这两种电浆就是我们化学研究所的任务了。其它的机体部分,还是和离子注入机差不多。我们先试着干吧!……”

    王波主动的站出来发言,话还没讲完,就被沈丹青打断了:“很好,刚才王所长的讲话非常有见地。我现在任命王所长为这次干法蚀刻设备研发的事业部部长。其他人都要听从他的指挥,他还可以从整个公司调配人力和资源。为了提高你们的急极性,我提早告诉你们一个好消息。”

    沈丹青的话没讲完,在场的人的心思就纷纷蠢蠢欲动了。老板嘴里说出的好消息,那一定错不了。

    大家的举动,沈丹青都看在眼里。他不仅没有气恼大家打断他的话,反而非常高兴的接着说:“只要这套芯片生产设备,研发成功。具备一定的精确度和良品率,我们就会去长沙设立第一家芯片制造工厂。工厂正式投产之后,所有参与研发芯片制造设备的工作人员,你们的欠款,全部一笔勾销。怎么样?这个奖励大家满意吗?”

    整个会场,一时失声。大家都太震惊了,不敢想象老板既然能给这么重的奖励。要知道,参与研发人员,至少都是工程师级别的技术员。级别高了,他们欠公司的钱也就更多,少的也欠了上百万,多的欠了几百万,比如各研究所的所长。这次奖励,比他们这几年工作所得的工资和奖金还要多,能不让他们兴奋吗?“哦!”会场响起了一片欢呼声,老板的奖励太给力了,他们一时控制不住自已兴奋的情绪,没有任何人例外。

    沈丹青看着会场上的人员的反应,满意地点了点头,他要的就是这种效果,只有不断激励大家,他们才能给他更大的回报。这点钱算什么,后世纳米级别的芯片制造设备,没有几十亿你想都别想,单位还是美金。中国人想买,他们还不会卖给你。现在长胜集团自已研发了全套技术,先不管先进与否,只要有了,以后就可以不断改进。能与欧美并驾齐驱,这种感觉就像毒品一样,令沈丹青深深的迷醉。

    ……